Печать

Изобретение относится к химической промышленности. Графитовые изделия нагревают сначала до 2000°С, прекращают откачку и в зону, где они находятся, вводят пары четыреххлористого углерода класса ОСЧ до давления 50 Торр. Выдерживают 30 мин, откачивают реакционные продукты через азотную ловушку. Затем повышают температуру до 2100°С, прекращают откачку. Вводят хладон-12 до давления 30 Торр, выдерживают 30 мин и снова откачивают реакционные продукты через азотную ловушку. Затем осуществляют изотермическую выдержку при 2100°С в вакууме 2 часа, охлаждают изделия. Перед извлечением изделий вводят инертный газ. Изобретение позволяет повысить степень очистки изделий, снизить удельный расход галогенсодержащих газов, удельный расход электроэнергии и увеличить срок службы технологической оснастки.